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80、合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别?

2019-02-15

答:由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大,最大可达几个数量级,所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不会太大,再加上在溅射过程中,择优溅射使溅射率高的元素贫化,溅射率低的元素富集,通过这种自身调节可使沉积膜层的成分比例更接近原合金的比例。



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