咨询电话:

17351246609

苏州摩星真空科技有限公司
苏州摩星真空科技有限公司
苏州摩星真空科技有限公司

真空园地

联系我们

全国服务热线:

0512-53593829

苏州摩星真空科技有限公司

传真:0512-53593829

网址:www.xr-air.com

技术咨询:15919495436

销售咨询:17351246609

地址:江苏省太仓市青岛西路38号

当前位置: 首 页 > 技术热点 > 真空问答

85、为什么射频溅射可以溅射非导电靶材?

2019-02-15

答:电子在射频电场作用下形成振荡运动,电离能力大大增强,并不像直流放电中对阴极二次电子发射有强烈的依赖。高频电路的能量可以通过耦合方式进入放电空间,并不需要像直流放电中通过导电电极进入放电空间。另在放电的等离子体中,由于靶电极与作为另一电极的壳体的面积之间的巨大差异,会使靶电极产生可观的自偏压,吸引了离子轰击而产生溅射作用。



标签

最近浏览:

咨询热线:17351246609

亚美app http://www.junyijia.com http://www.jsxtyjz.com http://www.zw-118.com http://www.lyfhsm.com http://www.car0898.com http://www.hnzcpt.com http://www.tlccgz.com http://www.nanchangyy.net http://www.xremc.com http://www.jzql88.com http://www.gdtrustnet.com http://www.jdcjs.com http://www.xrdfood.com http://www.liumeiquan.com http://www.thetanningisland.com http://www.tengdadt.com http://www.sumingkk.com http://www.medyao.com http://www.nzhw.net http://www.whtdh.com http://www.whtdh.com http://www.pzytc.com http://www.suiyigoush.com http://www.tianxinmosu.com http://www.bodepetrol.com http://www.sdquartz.com http://www.jpyj001.com http://www.yczqgg.com http://www.yinlongchem.com http://www.isd03.com